Повернутися до подробиць статті
ДВОПАРАМЕТРИЧНА ОПТИМІЗАЦІЯ ПЛАНУ ЕКСПЕРИМЕНТУ ПРИ ДОСЛІДЖЕННІ ШОРСТКОСТІ ПОВЕРХНІ КРЕМНІЮ В ПРОЦЕСАХ ГЛИБОКОГО ПЛАЗМОХІМІЧНОГО ТРАВЛЕННЯ МЕМС
Завантажити
Завантажити PDF