Кошовий , М. і Малкова , Г. 2022. ДВОПАРАМЕТРИЧНА ОПТИМІЗАЦІЯ ПЛАНУ ЕКСПЕРИМЕНТУ ПРИ ДОСЛІДЖЕННІ ШОРСТКОСТІ ПОВЕРХНІ КРЕМНІЮ В ПРОЦЕСАХ ГЛИБОКОГО ПЛАЗМОХІМІЧНОГО ТРАВЛЕННЯ МЕМС. Збірник наукових праць Військового інституту Київського національного університету імені Тараса Шевченка. 71 (Лют 2022), 31–36. DOI:https://doi.org/10.17721/2519-481X/2021/71-04.