Кошовий , М., & Малкова , Г. (2022). ДВОПАРАМЕТРИЧНА ОПТИМІЗАЦІЯ ПЛАНУ ЕКСПЕРИМЕНТУ ПРИ ДОСЛІДЖЕННІ ШОРСТКОСТІ ПОВЕРХНІ КРЕМНІЮ В ПРОЦЕСАХ ГЛИБОКОГО ПЛАЗМОХІМІЧНОГО ТРАВЛЕННЯ МЕМС. Збірник наукових праць Військового інституту Київського національного університету імені Тараса Шевченка, (71), 31–36. https://doi.org/10.17721/2519-481X/2021/71-04