КОШОВИЙ , М.; МАЛКОВА , Г. ДВОПАРАМЕТРИЧНА ОПТИМІЗАЦІЯ ПЛАНУ ЕКСПЕРИМЕНТУ ПРИ ДОСЛІДЖЕННІ ШОРСТКОСТІ ПОВЕРХНІ КРЕМНІЮ В ПРОЦЕСАХ ГЛИБОКОГО ПЛАЗМОХІМІЧНОГО ТРАВЛЕННЯ МЕМС. Збірник наукових праць Військового інституту Київського національного університету імені Тараса Шевченка, [S. l.], n. 71, p. 31–36, 2022. DOI: 10.17721/2519-481X/2021/71-04. Disponível em: https://de.lndc.knu.ua/index.php/zbirnuk/article/view/852. Acesso em: 15 чер. 2026.