Кошовий М, Малкова Г. ДВОПАРАМЕТРИЧНА ОПТИМІЗАЦІЯ ПЛАНУ ЕКСПЕРИМЕНТУ ПРИ ДОСЛІДЖЕННІ ШОРСТКОСТІ ПОВЕРХНІ КРЕМНІЮ В ПРОЦЕСАХ ГЛИБОКОГО ПЛАЗМОХІМІЧНОГО ТРАВЛЕННЯ МЕМС. ЗНПВІКНУ [інтернет]. 24, Лютий 2022 [цит. за 28, Травень 2026];(71):31-6. доступний у: https://de.lndc.knu.ua/index.php/zbirnuk/article/view/852